三坐標一般通常稱其為三坐標測量儀，其基本的工作原理就是通過幾何圖型在在坐標空間上的x,y,z坐標位置，而得出最終的理論尺寸，通過比較后測量出誤差值。
工作原理以三個直線光柵尺做測量基準，以測量頭的觸發發出測量信號，此時鎖定三個坐標的數據，以此可以量出工件的實際尺寸。
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