三坐標按操作方法可以分為手動三坐標測量儀和自動三坐標測量儀，而且每一種三坐標測量儀又有不同的系列，不同系列的三坐標測量儀使用方法都不一樣；下面是一些共性的使用方法：
一、量測前準備：
a、檢查空氣軸承壓力是否足夠
b、安裝工件
二、測頭選擇及安裝
a、將適當的測頭裝于Z軸承接器
b、檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）
三、量測操作
a、開啟處理機電源
b、開啟打印機開關
c、參考操作手冊，選擇所需功能之指令
四、完成后注意事項
a、Z軸移至原來位置后，鎖定
b、X，Y軸各移至中央，鎖定
c、關電源及壓力閥
d、取下測頭
e、并作適當的保養
